Etude Du Contr le Avanc Des Proc d s En Industrie Du Semi-Conducteur

Cette th se porte sur le d veloppement d'outils de contr le avanc des proc d s et leurs applications
l'industrie de fabrication des composants micro lectroniques. L'accent est mis en particulier sur les boucles de r gulation, connues sous le nom de boucles run-to-run. Dans la premi re partie de ces travaux, l'objectif tait d'identifier,
travers une analyse statistique multi-vari e, les tapes de fabrication critiques, principalement responsables des variabilit s temporelle et spatiale des performances lectriques du dispositif. Les r sultats obtenus montrent une forte variabilit lot
lot du courant de saturation et du courant de fuite, due, au premier ordre
la variabilit de la longueur de grille en poly-silicium. Ce constat a t le point de d part pour le d veloppement d'une nouvelle strat gie de r gulation run-to-run mieux adapt e
un environnement de production high-mix,
savoir le contr le coop ratif. Un contr leur coop ratif s'appuie sur un algorithme d'identification r cursif afin d'estimer en ligne les tats des sources de variations qualitatives prises en compte, notamment le produit et l’ quipement de fabrication.