Resonant Behaviour of Pulse Generators for the Efficient Drive of Optical Radiation Sources Based on Dielectric Barrier Discharges

Excimer-Lampen basierend auf Dielektrisch Behinderten Entladungen (DBD) sind effiziente Quellen ultravioletter Strahlung. Diese Arbeit verbindet theoretische Betrachtungen mit der praktischen Verifikation neu entwickelter Topologien und Betriebsmodi, um DBEs effizient mit kurzen Hochspannungspulsen zu betreiben. Durch transformatorlose Topologien und Nutzung von SiC Leistungshalbleitern konnten Effizienzen von bis zu 92 % und Pulsfrequenzen von bis zu 3.1 MHz erreicht werden.