Wirkung Hochenergetischer Strahlung Auf Halbleiterbauelemente

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Mit dem rasch wachsenden Integrationsgrad mikroelektronischer Schaltungen steigt der moegliche Schaden durch hochenergetische Strahlung, insbesondere im Einsatzbereich von Luft- und Raumfahrttechnik, aber auch bei Kernreaktoren, in der Materialforschung und in der medizinischen Diagnostik und Therapie. Das Buch liefert eine fundierte Einfuhrung, die von den physikalischen Grundlagen der Wechselwirkung von Strahlung mit Materie, uber die Erklarung von Schadigungsmechanismen bis hin zur Beschreibung von Strahlungsempfindlichkeit reicht. Der starke Einfluss der verwendeten Technologie wird ebenso behandelt wie die Moeglichkeit der Abschirmung und der Einfluss von Strukturverkleinerungen auf die Strahlensensibiltat.