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Add to list Added to list Protonendotierung Von Silizium: Untersuchung Und Modellierung Protoneninduzierter Dotierungsprofile in Silizium
Johannes G Laven
Johannes G. Laven beschreibt die Dotierung von kristallinem Silizium mittels Protonenimplantationen mit Energien im Bereich weniger Megaelektronenvolt. Hiermit koennen Dotierungsprofile in Tiefen zwischen Mikrometern bis weit uber 100 m erzeugt…
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